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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

通過(guò)共聚焦顯微測(cè)量技術(shù)實(shí)現(xiàn)高真空度環(huán)境下柵極腐蝕的在線實(shí)時(shí)測(cè)量，可以有效避免重復(fù)抽放真空對(duì)柵極設(shè)備壽命的影響問(wèn)題，同時(shí)極大提高了柵極腐蝕檢測(cè)的速度和精度，測(cè)量精度可達(dá)到0.008mm，為柵極壽命試驗(yàn)提供精準(zhǔn)詳細(xì)的數(shù)據(jù)支持。