近年來，中美兩國之間的摩擦多次見諸報端，尤其在進(jìn)出口貿(mào)易、5G等領(lǐng)域爭鋒相對。在5G領(lǐng)域中，華為的技術(shù)突破讓其成為眾矢之的。美國意圖通過政治手段打壓中國在5G領(lǐng)域的領(lǐng)先地位，也不甘把4G時代的霸主地位拱手相讓。類似的事件在歷史上曾多次出現(xiàn)，結(jié)果卻是迎來了自有技術(shù)的蓬勃發(fā)展。中國沒有垮掉，反而一次一次突破了封鎖。除了手機(jī)芯片外，中國在工業(yè)級別芯片上的進(jìn)步也是有目共睹的，這也得益于中國持續(xù)不斷的對于芯片產(chǎn)業(yè)的規(guī)劃和投入。
在整個芯片制造中，晶圓是芯片的重要原材料，航天智造（上海）科技有限責(zé)任公司（以下簡稱航天智造）從單晶硅生產(chǎn)流程中的物流上下料方向進(jìn)行拓展，目前已應(yīng)用單晶硅截取下料agv、單晶硅取晶車。
同時，航天智造著力從韓國引入三星供應(yīng)鏈晶圓生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)，結(jié)合上海交通大學(xué)、南京航空航天大學(xué)進(jìn)行產(chǎn)學(xué)研的應(yīng)用，對加速我司對第三代半導(dǎo)體材料及器件研發(fā)和相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義，利用自身在物流、裝配、檢測、控制、清洗等領(lǐng)域的工程經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行拓展性的分析和研究總結(jié)出了幾款涉及多個生產(chǎn)步驟的工藝設(shè)備，聚焦晶圓生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)，把握第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展機(jī)遇。
單晶硅拉晶生產(chǎn)流程
單晶原料清洗
類型：高壓沖水型、超聲波型；
適用原料：邊皮、圓棒、尖頭等；
清洗產(chǎn)能：2T/h；
清洗質(zhì)量：無水漬、無白斑。
單晶原料破碎篩選
類型：破碎分選線,篩選機(jī)；
適用原料：邊皮、圓棒、尖頭等；
用途：控制顆粒度。
自動配料配送系統(tǒng)
類型：自動配料系統(tǒng)；
適用原料：破碎料，粉料等；
用途：精確控制各組分配比,通過AGV自動送到對應(yīng)工位。
截斷下料AGV
類型：AGV；
適用原料：截斷后的短料。
功能：尋棒找中、夾取、編碼、導(dǎo)航、調(diào)度、MES通信等，每車8根；
長棒抓取方案
類型：半自動型、AGV型；
適用原料：長棒；
用途：提升、旋轉(zhuǎn)、夾抱、導(dǎo)航、調(diào)度、編碼功能、稱重等。
電性能檢測線
類型：檢測線；
適用原料：短棒等；
主要功能：讀碼、測長、稱重、激光打碼、少子壽命檢測、電阻率檢測、不良判別與分揀、合格品分級、MES通信等。
開方上下料系統(tǒng)
類型：輸送系統(tǒng)；
適用原料：圓棒，方棒等；
組成： 桁架式三坐標(biāo)機(jī)械手+緩存線+調(diào)度系統(tǒng)；
用途：產(chǎn)品分級和定機(jī)臺配送、MES通信等。
磨倒上下料系統(tǒng)
類型：輸送系統(tǒng)；
適用原料：圓棒，方棒等；
組成：AGV+桁架式三坐標(biāo)機(jī)械手+緩存線+調(diào)度系統(tǒng)；
用途：產(chǎn)品分級和定機(jī)臺配送、MES通信等。
方棒成品檢測線
類型：外觀尺寸檢測線；
適用原料：成品單晶棒等；
用途：外形尺寸檢測精度0.01mm， MES通信；
節(jié)拍：優(yōu)于10S。
同時，航天智造也針對單晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域中系統(tǒng)自動化控制進(jìn)行改良更新，通過生產(chǎn)線現(xiàn)場增加監(jiān)測傳感器，利用高頻數(shù)采專用網(wǎng)關(guān)，將大量現(xiàn)場過程數(shù)據(jù)、環(huán)境數(shù)據(jù)采集到控制平臺，現(xiàn)場工程師根據(jù)工藝特點(diǎn)，創(chuàng)新開發(fā)出各種提升現(xiàn)場效率、質(zhì)量、設(shè)備預(yù)測的算法模型，模型經(jīng)過現(xiàn)場訓(xùn)練和驗(yàn)證，有效提升品質(zhì)、降低不良、停機(jī)導(dǎo)致的損失。航天智造將持續(xù)助力半導(dǎo)體行業(yè)晶圓生產(chǎn)，為半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展貢獻(xiàn)力量。
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